제품소개


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Linear

10.5G Handler stage

  • 제품군

    Linear

  • 설명

    Gantry 타입의 정밀 Stage

  • 사양

    - Max Speed : 3,000 mm/s
    - Accuracy : 5.0 ㎛
    - Repeatability : ±2 ㎛
    - Acceleration : 0.3 G
    - Straiggtness : ±10 ㎛ (Full ST)
    - Flatness : ±10 ㎛ (Full ST)

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